1. Substrat céramique
Le carbure de silicium présente un large écart énergétique, une stabilité thermique élevée et une bonne conductivité thermique, il peut être utilisé pour produire un substrat pour une cellule photovoltaïque.
2. Plateau à gaufrettes en céramique
Les céramiques d'alumine et de carbure de silicium ont une résistance à haute température et à l'usure, elles peuvent être utilisées pour produire un plateau pour transporter des plaquettes pour divers processus, tels que le RTA (recuit thermique rapide), le PVD (vapeur physique Dépôt), ICP (Plasma à couplage inductif), CMP (polissage chimico-mécanique), pour obtenir un bon effet de traitement et un rendement élevé ;
3. Mandrin à vide en céramique
Les céramiques d'alumine et de carbure de silicium ont une bonne surface de finition, avec une forte force d'absorption lorsque l'air de pompage est appliqué, également le mandrin à vide en céramique a une résistance à haute température et est largement utilisé pour absorber et transférer des plaquettes pendant le processus de production. ;
4. Bateau à plaquettes et support de bateau
Le carbure de silicium et le quartz ont une résistance à haute température et une bonne résistance à l'usure, leur densité est également faible et leur poids est léger, ils conviennent à la production bateau à plaquettes et support de bateau, pour transporter la plaquette pour le traitement de diffusion et d'oxydation dans un four à diffusion.
5. Tube de four à diffusion
Le tube de quartz a une résistance à haute température et une excellente stabilité thermique, il peut être utilisé comme tube de four à diffusion, pour le processus de diffusion et d'oxydation de la plaquette de silicium de cellule solaire.