1. Substrat céramique
Les céramiques d'alumine, de nitrure de silicium, de nitrure d'aluminium et de carbure de silicium ont une bonne conductivité thermique, une résistance aux températures élevées et à la corrosion, elles peuvent être utilisées pour produire des substrats, pour des composants électroniques et des circuits intégrés ;
2. Plateau à gaufrettes en céramique
Les céramiques d'alumine et de carbure de silicium ont une résistance à haute température et à l'usure, elles peuvent être utilisées pour produire un plateau pour transporter des plaquettes pour divers processus, tels que RTA (recuit thermique rapide), PVD (vapeur physique Dépôt), ICP (Plasma à couplage inductif), CMP (polissage chimico-mécanique), pour obtenir un bon effet de traitement et un rendement élevé ;
3. Mandrin à vide en céramique
Les céramiques d'alumine et de carbure de silicium ont une bonne surface de finition, avec une forte force d'absorption lors de l'application de pompage d'air. De plus, le mandrin à vide en céramique a une résistance à haute température et est largement utilisé pour absorber et transférer des plaquettes pendant le processus de production. ;
4. Bateau à plaquettes et support de bateau
Le carbure de silicium et le quartz ont une résistance à haute température et une bonne résistance à l'usure. Leur densité est également faible et leur poids est léger. Ils conviennent pour produire un bateau à plaquettes et un support de bateau, pour transporter des plaquettes. traitement de diffusion et d'oxydation dans un four à diffusion.
5. Tube de four à diffusion
Le tube de quartz a une résistance à haute température et une excellente stabilité thermique, il peut être utilisé comme tube de four à diffusion, pour le processus de diffusion et d'oxydation des plaquettes semi-conductrices.
