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AlN Electrostatic Chuck
AlN Electrostatic Chuck
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Mandrin électrostatique en céramique de nitrure d'aluminium

Le mandrin électrostatique en céramique de nitrure d'aluminium (ESC, E-Chuck) est une sorte de luminaire qui applique le principe d'adsorption électrostatique pour maintenir et fixer l'objet adsorbé, qui convient à l'environnement sous vide et plasma, la fonction principale est d'adsorber des feuilles minces (telles que comme les plaquettes, les cellules solaires, etc.) dans le processus de transport et de fixation, il peut permettre aux objets adsorbés de maintenir une planéité élevée et d'éviter leur déformation.

  • Marque:

    ATCERA

  • Article N°:

    AT-AIN-JD1001

  • Matériels

    AlN

  • Formes

    Mechanical Parts

  • Applications

    Semiconductor , Photovoltaic Cell Industry
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Aluminum nitride ceramic electrostatic chuck

Propriétés du nitrure d'aluminium Mandrin électrostatique

1. Le mandrin électrostatique en céramique de nitrure d'aluminium a une large plage de température de fonctionnement, une forte force d'adsorption et peut être ajusté, adapté à une variété d'exigences de processus différentes ;

2. La surface du mandrin en céramique de nitrure d'aluminium est lisse et avec une planéité élevée, la force d'adsorption est uniforme et les objets adsorbés peuvent maintenir une planéité élevée et améliorer la qualité du traitement ;

3. Le mandrin en céramique de nitrure d'aluminium résiste aux températures élevées, à la corrosion acide et alcaline, avec une bonne applicabilité et une longue durée de vie.

Aluminum nitride electrostatic chuck

Applications de l'AlN Mandrin électrostatique

Le mandrin électrostatique en céramique de nitrure d'aluminium est une sorte d'outil de fixation par adsorption, utilisé dans les industries des semi-conducteurs et des cellules solaires pour le processus de production. C'est l'un des composants essentiels des équipements de gravure, des équipements PVD, des équipements PECVD, des équipements d'implantation ionique, etc.

Conception personnalisée pour Mandrin électrostatique en céramique et nitrure d'aluminium

Nous nous engageons à fournir des mandrins électrostatiques en nitrure d'aluminium de première qualité adaptés à vos spécifications exactes. Notre équipe dévouée veille au respect méticuleux de vos instructions, s’efforçant de dépasser les attentes des clients. De plus, nous offrons la flexibilité de tailles personnalisées pour répondre à vos besoins uniques.

Fournir les exigences en matière de dessin et de paramètres.

Rugosité de surface : Ra0,2

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Plaque rectangulaire en nitrure d'aluminium pressée à chaud
Numéro d'article Max. Longueur (mm) Max. Largeurï¼mm) Max. Hauteurï¼mm)
AT-AIN-RY1001 ï¼500 ï¼500 ï¼350

Plaque ronde en nitrure d'aluminium pressée à chaud
Numéro d'article Max. Diamètre extérieur (mm) Max. Hauteur (mm)
AT-AIN-RY2001 ï¼500 ï¼500

Données techniques des matériaux en nitrure d'aluminium

Type AIN ALN-170 ALN-200
 ALN-230
Densité (g/cm3) 3.3 3.28 3.25
Résistance à la flexion (MPa) 450 400 350
Module de jeune (GPa) 320 / /
Dureté (Hv) 1100 1100
 1100
Ténacité à la rupture (MPa*m1/2) 3 2,6 2,4
Température maximale de fonctionnement (â) 1100 1100
 1100
Conductivité thermique (W/m*K) 180 200
 230
Coefficient de dilatation thermique (/â) 4*10-6 4*10-6
 4*10-6
Constante diélectrique (à 1 MHz) 9 8,7
 8,5
Tension de claquage (kV/mm) >15 >15
 >15

*Ce tableau illustre les caractéristiques standard des matériaux en nitrure d'aluminium couramment utilisés dans la fabrication de nos produits et pièces AlN. Veuillez noter que les attributs des produits et pièces personnalisés en nitrure d'aluminium peuvent varier en fonction des processus spécifiques impliqués. Le paramètre détaillé est décidé par le type et la composition de l'agent stabilisant.

Informations précieuses

Aluminum Nitride Ceramic Electrostatic Chuck Packing

Mandrin électrostatique en céramique de nitrure d'aluminium Emballage

Les mandrins électrostatiques en nitrure d'aluminium sont soigneusement emballés dans des conteneurs appropriés pour éviter tout dommage potentiel.

Avantages de la personnalisation
Avantages de la personnalisation

1. Selon votre scénario d'application, analysez les besoins, choisissez le matériau et le plan de traitement appropriés.

2. Une équipe professionnelle, réponse rapide, peut fournir des solutions et des devis dans les 24 heures après confirmation de la demande.

3. Mécanisme de coopération commerciale flexible, prend en charge au moins un élément de personnalisation de la quantité.

4. Fournissez rapidement des échantillons et des rapports de test pour confirmer que le produit répond à vos besoins.

5. Fournissez des suggestions d'utilisation et d'entretien du produit pour réduire vos coûts d'utilisation.

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FAQ

Bien que notre objectif principal soit les matériaux céramiques avancés tels que l'alumine, la zircone, le carbure de silicium, le nitrure de silicium, le nitrure d'aluminium et la céramique de quartz, nous explorons toujours de nouveaux matériaux et technologies. Si vous avez un besoin matériel spécifique, veuillez nous contacter et nous ferons de notre mieux pour répondre à vos besoins ou trouver des partenaires appropriés.

Absolument. Notre équipe technique possède une connaissance approfondie des matériaux céramiques et une vaste expérience dans la conception de produits. Nous sommes heureux de vous fournir des conseils en matière de sélection de matériaux et une assistance à la conception de produits pour garantir des performances optimales à vos produits.

Nous n’avons pas d’exigence de valeur minimale de commande fixe. Nous nous efforçons toujours de répondre aux besoins de nos clients et nous nous efforçons de fournir un service et des produits de qualité, quelle que soit la taille de la commande.

En plus des produits céramiques, nous proposons également une gamme de services supplémentaires, notamment : des services de traitement de la céramique personnalisés en fonction de vos besoins, à partir d'ébauches ou d'ébauches semi-finies produites par vous-même ; si vous êtes intéressé par des services externalisés d’emballage et de métallisation en céramique, veuillez nous contacter pour une discussion plus approfondie. Nous nous engageons toujours à vous fournir une solution unique pour répondre à vos différents besoins.

Oui, nous le faisons. Peu importe où vous vous trouvez dans le monde, nous pouvons garantir la livraison sûre et rapide de votre commande.

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