Céramiques avancées, en tant que type de matériau non métallique doté d'excellentes propriétés physiques et chimiques, notamment de bonnes performances d'isolation électrique, une dureté élevée, une bonne résistance à l'usure, une résistance aux températures élevées et à la corrosion, de bonnes performances de dissipation thermique, elles ont une large gamme d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs, comme les substrats hautes performances, les boîtiers de composants électroniques, les dissipateurs thermiques et les pièces d'équipement de production de semi-conducteurs, etc. Les performances et l'efficacité de la production des produits semi-conducteurs ont été considérablement améliorées par rapport aux produits traditionnels, répondant aux besoins du développement rapide de l'industrie.

Applications des céramiques avancées pour l'industrie des semi-conducteurs

1. Substrat céramique

Les céramiques d'alumine, de nitrure de silicium, de nitrure d'aluminium et de carbure de silicium ont une bonne conductivité thermique, une résistance aux températures élevées et à la corrosion, elles peuvent être utilisées pour produire des substrats, pour les composants électroniques et les circuits intégrés ;

2. Plateau à gaufrettes en céramique

Les céramiques d'alumine et de carbure de silicium ont une résistance aux températures élevées et à l'usure. Elles peuvent être utilisées pour produire des plateaux destinés à transporter des plaquettes pour divers processus, tels que le RTA (recuit thermique rapide), le PVD (dépôt physique en phase vapeur), l'ICP (plasma à couplage inductif). , CMP (polissage mécano-chimique), pour obtenir un bon effet de traitement et une efficacité élevée ;

3. Mandrin à vide en céramique

Les céramiques d'alumine et de carbure de silicium ont une bonne surface de finition, avec une forte force d'absorption lors de l'application de pompage d'air, elles ont également une résistance à haute température et sont largement utilisées pour absorber et transférer des plaquettes pendant le processus de production ;

4. Bateau à plaquettes et support de bateau

Le carbure de silicium et le quartz ont une résistance à haute température et une bonne résistance à l'usure, la densité est également faible et le poids est léger, ils conviennent pour produire des bateaux à plaquettes et des supports de bateau, pour transporter des plaquettes pour un traitement de diffusion et d'oxydation dans un four à diffusion.

5. Tube de four à diffusion

Le tube de quartz a une résistance à haute température et une excellente stabilité thermique, il peut être utilisé comme tube de four à diffusion, pour le processus de diffusion et d'oxydation des plaquettes semi-conductrices.