Support de bateau en carbure de silicium pour semi-conducteur SiC Ccarrier pour bateau à plaquettes

Le support de bateau en carbure de silicium est un composant clé dans les équipements de production de tranches semi-conductrices et de cellules photovoltaïques, et il est utilisé pour transporter le bateau de tranche (ou le support de bateau) contenant la tranche semi-conductrice ou la tranche de silicium solaire dans le four de diffusion pour le traitement de revêtement.

Marque:
ATCERA
Article N°:
AT-SIC-T1001

Matériels
SiC
Formes
Mechanical Parts
Applications
Semiconductor , Photovoltaic Cell Industry

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Propriétés du SiC Ccarrier pour Wafer Boat

Le support de bateau en carbure de silicium a une résistance à haute température, une résistance élevée à la flexion, une bonne résistance aux chocs thermiques, une bonne stabilité thermique, une capacité portante élevée à haute température, une forte résistance à l'oxydation, sans chute d'impuretés.

1. Le support de bateau en carbure de silicium a une résistance à haute température, la température d'utilisation maximale peut atteindre 1600 °C, il a également une bonne résistance aux chocs thermiques, une durée de vie de plus de 5 ans ;

2. Le support de bateau en carbure de silicium a une capacité portante légère, de haute résistance et élevée à haute température, il peut réduire la taille et le poids du système de chargement pour répondre aux besoins d'un rendement plus élevé pour la production par lots uniques ;

3. Le coefficient de dilatation thermique du support de bateau en carbure de silicium est très faible, similaire au revêtement LPCVD, lorsqu'il est appliqué au LPCVD, il peut donc considérablement prolonger le cycle de maintenance et de nettoyage.

Applications of Silicon Carbide Boat Bracket

Applications du Support de bateau en carbure de silicium

Le support de bateau en carbure de silicium est un composant clé dans les équipements de production de cellules photovoltaïques et de plaquettes semi-conductrices, pour transporter des plaquettes de silicium solaires et des plaquettes semi-conductrices dans des fours à diffusion à haute température (1000-1300°)

1. Industrie de fabrication de cellules photovoltaïques

2. Industrie de fabrication de plaquettes de semi-conducteurs

Conception personnalisée pour support de bateau en carbure de silicium

Nous nous engageons à fournir un support de bateau en carbure de silicium optimal adapté à vos spécifications exactes. Notre équipe dévouée veille au respect méticuleux de vos instructions, s’efforçant de dépasser les attentes des clients. De plus, nous offrons la flexibilité de tailles personnalisées pour répondre à vos besoins uniques.

Les exigences en matière de dessin et de spécifications doivent être fournies en cas de demande de conception personnalisée.

Tolérance d'usinage :

1. Diamètre : ±0,01 mm

2. Rugosité de Surface : Ra0,5

3. Cylindricité : ±0,004 mm

4. Concentricité : ±0,003 mm

5. Parallélisme : ±0,002 mm

Envoyer les exigences pour une conception personnalisée

Customized Design for Silicon Carbide Boat Bracket

Données techniques des matériaux en carbure de silicium

Article		Unité	Données d'indexation
Article		Unité	SiC fritté par réaction (SiSiC)	Nitrure de silicium lié au SiC (NBSiC)	SiCn fritté sans pression (SSiC)
Contenu SiC		%	85	80	99
Contenu gratuit sur le silicium		%	15	0	0
Max. Température de service.		…	1380	1550	1600
Densité		g/cm3	3.02	2,72	3.1
Porosité		%	0	12	0
Résistance à la flexion	20â	Mpa	250	160	380
Résistance à la flexion	1200…	Mpa	280	180	400
Module d'élasticité	20â	Gpa	330	220	420
Module d'élasticité	1200…	Gpa	300	/	/
Conductivité thermique	1200…	W/m.k	45	15	74
Coefficient de dilatation thermique		K-1×10-6	4,5	5	4.1
Dureté Vickers	HT	kg/mm2	2500	2500	2800

*Ce tableau illustre les caractéristiques standard des matériaux en carbure de silicium couramment utilisés dans la fabrication de nos produits et pièces SiC. Veuillez noter que les attributs des produits et pièces personnalisés en carbure de silicium peuvent varier en fonction des processus spécifiques impliqués.

Instructions d'utilisation

1. Le support de bateau en carbure de silicium doit être déplacé à l'aide d'outils de manipulation spéciaux pour éviter les collisions violentes et les fortes vibrations ;

2. Le support de bateau en carbure de silicium doit être stocké dans un environnement gazeux sec, sans poussière et non corrosif pour éviter l'humidité et l'érosion ;

3. Avant d'utiliser le support de bateau en carbure de silicium, une inspection de l'apparence doit être effectuée pour vérifier s'il existe des défauts tels que des dommages, des déformations, des fissures, etc. ;

4. Le support de bateau en carbure de silicium doit être régulièrement entretenu, y compris le nettoyage, l'inspection et le remplacement du support de bateau endommagé.

Informations précieuses

Emballage de support de bateau en carbure de silicium

Les supports de bateau en carbure de silicium sont soigneusement emballés dans des conteneurs appropriés pour éviter tout dommage potentiel.

Avantages de la personnalisation

1. Selon votre scénario d'application, analysez les besoins, choisissez le matériau et le plan de traitement appropriés.

2. Une équipe professionnelle, réponse rapide, peut fournir des solutions et des devis dans les 24 heures après confirmation de la demande.

3. Mécanisme de coopération commerciale flexible, prend en charge au moins un élément de personnalisation de la quantité.

4. Fournissez rapidement des échantillons et des rapports de test pour confirmer que le produit répond à vos besoins.

5. Fournissez des suggestions d'utilisation et d'entretien du produit pour réduire vos coûts d'utilisation.

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Quels services au-delà des produits céramiques proposez-vous ?

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