Silicon carbide tray
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Plateau en carbure de silicium SiC RTA PVD ICP CMP Plateau

Le plateau en carbure de silicium est formé à partir de poudre de carbure de silicium de haute pureté après frittage, comme dispositif de transport utilisé dans le processus de fabrication de semi-conducteurs, tel que RTA (recuit thermique rapide), PVD (dépôt physique en phase vapeur), ICP (plasma à couplage inductif), CMP (produit chimique polissage mécanique) et ainsi de suite.

  • Marque:

    ATCERA
  • Article N°:

    AT-THG-CZ1001
  • Matériels

    SiC
  • Formes

    Plate
  • Applications

    Semiconductor
Silicon carbide tray

Propriétés du Plateau en carbure de silicium

1. Excellente conductivité thermique, faible coefficient de dilatation thermique, bonne résistance aux chocs thermiques ;

2. Résistance aux hautes températures, résistance aux chocs plasma ;

3. Résistant à divers réactifs acides, alcalins et chimiques forts ;

4. Haute dureté, haute résistance, bonne résistance à l'usure.

Applications of SiC Tray

Applications du Plateau SiC

Le plateau en carbure de silicium est utilisé comme plaque de support dans le processus de fabrication de semi-conducteurs (y compris les LED).

Tableau des tailles pour Plateau en carbure de silicium

Nous nous engageons à fournir un plateau en carbure de silicium de qualité supérieure adapté à vos spécifications exactes. Notre équipe dévouée veille au respect méticuleux de vos instructions, s’efforçant de dépasser les attentes des clients. De plus, nous offrons la flexibilité de tailles personnalisées pour répondre à vos besoins uniques.

Les exigences en matière de dessin et de paramètres doivent être fournies en cas de demande de conception personnalisée. (taille maximale jusqu'à 500*500 mm et diamètre jusqu'à 500 mm)

Tolérance d'usinage :
Diamètre ±0,25 mm
Épaisseur ±25 μm
Orientation des cristaux <001> ±0,5°
Orientation de la face du cristal ±0,5°
Orientation des bords ≤2°
Autre paramètre, veuillez contacter ATCERA.

Tolérance dimensionnelle :
Diamètre : ±0,1 mm
Épaisseur : ±0,05 mm
Planéité : 0,003 mm

Drawing of Silicon Carbide Tray SiC PVD Tray

Plateau en carbure de silicium Plateau SiC PVD
Numéro d'article Diamètre
(mm)
Épaisseur
(mm)
Pureté du SiC
(%)
AT-THG-CZ1001 230 3 99
AT-THG-CZ1002 300 1,4 99
AT-THG-CZ1003 300 3 99
AT-THG-CZ1004 330 1,4 99
AT-THG-CZ1005 330 3 99

Drawing of Silicon Carbide Tray SiC ICP Tray

Plateau en carbure de silicium Plateau ICP SiC
Numéro d'article Diamètre
(mm)
Épaisseur
(mm)
Pureté du SiC
(%)
AT-THG-CZ2001 300 3 99
AT-THG-CZ2002 300 4.4 99
AT-THG-CZ2003 3304.4 99
AT-THG-CZ2004 330 3 99
AT-THG-CZ2005 380 4.4 99
AT-THG-CZ2006 380 3 99

Données techniques des matériaux en carbure de silicium

Article Unité Données d'indexation
SiC fritté par réaction
(SiSiC)
Nitrure de silicium lié au SiC
(NBSiC)
SiCn fritté sans pression
(SSiC)
Contenu SiC % 85 80 99
Contenu gratuit sur le silicium % 15 0 0
Max. Température de service. 1380 1550 1600
Densité g/cm3 3.02 2,72 3.1
Porosité % 0 12 0
Résistance à la flexion 20â Mpa 250 160 380
1200… Mpa 280 180 400
Module d'élasticité 20â Gpa 330 220 420
1200… Gpa 300 / /
Conductivité thermique 1200… W/m.k 45 15 74
Coefficient de dilatation thermique K-1×10-6 4,5 5 4.1
Dureté Vickers HT kg/mm2 2500 2500 2800

*Ce tableau illustre les caractéristiques standard des matériaux en carbure de silicium couramment utilisés dans la fabrication de nos produits et pièces SiC. Veuillez noter que les attributs des produits et pièces personnalisés en carbure de silicium peuvent varier en fonction des processus spécifiques impliqués.

Instructions d'utilisation

1. Traitement de nettoyage
Avant le stockage, il est nécessaire de nettoyer le plateau en carbure de silicium pour éliminer les impuretés et polluants de surface. Vous pouvez utiliser un agent de nettoyage spécial ou de l'alcool pour nettoyer et sécher avec un chiffon sans poussière ;
2. Traitement de séchage
Le plateau en carbure de silicium nettoyé doit être séché pour éliminer l'humidité résiduelle. Le plateau peut être séché naturellement dans un environnement à faible humidité ou séché à l'aide d'un séchoir ;
3. Environnement de stockage
Le plateau en carbure de silicium doit être stocké dans un environnement sec, propre et sans poussière pour éviter l'humidité, la pollution et la poussière ;
4. Antichoc et antichute
Au cours du processus de conservation et de transport, le plateau doit être évité de fortes vibrations ou de chutes pour éviter qu'il ne soit endommagé ou n'affecte la précision ;
5. Contrôle régulier
L'état du plateau en carbure de silicium doit être régulièrement vérifié, notamment son apparence, sa précision et sa stabilité, etc., pour garantir qu'il est en bon état avant utilisation.

Informations précieuses

SiC Tray Packing

Emballage du plateau SiC

Les plateaux en carbure de silicium sont soigneusement emballés dans des conteneurs appropriés pour éviter tout dommage potentiel.

Avantages de la personnalisation
Avantages de la personnalisation

1. Selon votre scénario d'application, analysez les besoins, choisissez le matériau et le plan de traitement appropriés.

2. Une équipe professionnelle, réponse rapide, peut fournir des solutions et des devis dans les 24 heures après confirmation de la demande.

3. Mécanisme de coopération commerciale flexible, prend en charge au moins un élément de personnalisation de la quantité.

4. Fournissez rapidement des échantillons et des rapports de test pour confirmer que le produit répond à vos besoins.

5. Fournissez des suggestions d'utilisation et d'entretien du produit pour réduire vos coûts d'utilisation.

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Absolument. Notre équipe technique possède une connaissance approfondie des matériaux céramiques et une vaste expérience dans la conception de produits. Nous sommes heureux de vous fournir des conseils en matière de sélection de matériaux et une assistance à la conception de produits pour garantir des performances optimales à vos produits.

Nous n’avons pas d’exigence de valeur minimale de commande fixe. Nous nous efforçons toujours de répondre aux besoins de nos clients et nous nous efforçons de fournir un service et des produits de qualité, quelle que soit la taille de la commande.

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