Bateau SiC de bateau de gaufrette de carbure de silicium pour la manipulation de gaufrette

Propriétés du Bateau à plaquettes en carbure de silicium

Le bateau à plaquettes en carbure de silicium a une résistance à haute température, une résistance élevée à la flexion, une bonne résistance aux chocs thermiques, une bonne stabilité thermique, une capacité portante élevée à haute température, une forte résistance à l'oxydation, sans chute d'impuretés.

1. Le bateau à plaquettes en carbure de silicium résiste aux températures élevées, la température d'utilisation maximale peut atteindre 1600 °C, une bonne résistance aux chocs thermiques et la durée de vie est supérieure à 5 ans ;

2. Le matériau du bateau en plaquettes de carbure de silicium est de grande pureté, évitant l'introduction d'impuretés, réduisant la pollution de l'environnement de l'équipement au cours du processus et peut améliorer efficacement la qualité du produit ;

3. Le bateau à plaquettes en carbure de silicium a une capacité portante légère, de haute résistance et élevée à haute température, il peut donc réduire la taille du système de chargement pour répondre aux besoins d'un rendement plus élevé pour la production d'un seul lot ;

4. Le coefficient de dilatation thermique du bateau de plaquette de carbure de silicium est très faible, similaire au revêtement LPCVD, lorsqu'il est appliqué sur LPCVD, prolonge considérablement le cycle de maintenance et de nettoyage.